本網(wǎng)武漢11月23日電（方政軍 喬進 陳婉蘭）日前，國家自然科學基金委工程與材料科學部組織專家，在武漢對該校劉勝教授主持的國家重大科研儀器研制項目（部門推薦）“薄膜生長缺陷跨時空尺度原位/實時監(jiān)測與調(diào)控實驗裝置”進行了結(jié)題驗收。項目驗收技術(shù)組、財務組專家，監(jiān)理組專家，國家自然科學基金委黨組成員、副主任陸建華院士，工程與材料科學部常務副主任王岐東，湖北省科技廳副廳長杜耘，校長張平文院士、副校長唐其柱等出席，王岐東主持結(jié)題驗收會議。
陸建華線上致辭。他指出，高端芯片制造是我國科技高速發(fā)展的瓶頸，而薄膜生長則是高端芯片制造及集成電路領域的基礎。儀器研究項目需要突出研究原創(chuàng)性和科學價值，解決科學問題，幫助科學家解決基礎科學問題。希望項目組專家在驗收過程中，嚴格對照項目立項時的各項指進行標逐一核對，同時幫助自然基金委一起探索儀器項目建設的新辦法新機制。他強調(diào)，項目結(jié)題不代表項目結(jié)束，而是新的起點，希望項目負責人及研發(fā)人員始終堅持永遠在一線、永遠在狀態(tài)、永遠在學習，牢記重大儀器項目的科學使命，搶占國際科學發(fā)展的制高點。
王岐東指出，該項目十分前沿、技術(shù)攻關難度較高。他充分肯定了項目依托單位及合作單位從立項、實施、再到結(jié)題驗收過程中所作的努力和階段性貢獻，希望專家組專家實事求是，以高度負責的態(tài)度，從技術(shù)、檔案、財務各方面按照項目驗收指標逐一核對驗收，并提出建議性意見和建議。
張平文代表項目建設單位致辭。他指出，該項目是武漢大學乃至華中地區(qū)高校首次獲得的國家重大科研儀器研制項目，武漢大學倍感責任重大，使命光榮。他充分肯定了劉勝教授及其科研團隊在項目執(zhí)行過程中付出的艱辛努力和取得的成果，介紹了武漢大學從經(jīng)費、場地、人才引進、研究生培養(yǎng)及項目落地推廣等方面提供的支持，并表示將一如既往支持項目的后續(xù)攻關和落地轉(zhuǎn)化。
項目負責人、剛剛增選的中國科學院院士劉勝教授從立項背景、設備研制進展情況、關鍵模塊研究進展等方面匯報了項目總體研究成果。項目驗收專家組認真審閱了結(jié)題驗收材料，聽取了項目組關于儀器研制的進展和成果總結(jié)、項目監(jiān)理組的監(jiān)理情況匯報以及現(xiàn)場技術(shù)測試、財務驗收和檔案審核情況匯報，并對儀器設備進行了現(xiàn)場考察。經(jīng)充分討論和質(zhì)詢，專家組認為，項目組按照項目任務書完成了相關研究工作，項目任務書所列的儀器各項技術(shù)指標均已實現(xiàn)，其中部分關鍵技術(shù)指標優(yōu)于預期目標，項目經(jīng)費支出標準合規(guī)，組織管理規(guī)范，一致同意項目通過結(jié)題驗收，結(jié)果評價為A。
據(jù)悉，國家重大科研儀器研制項目（部門推薦）“薄膜生長缺陷跨時空尺度原位/實時監(jiān)測與調(diào)控實驗裝置”于2017年獲批立項，歷時5年多協(xié)同開展關鍵技術(shù)攻關。該裝置的成功研制，推動了我國寬禁帶半導體材料異質(zhì)異構(gòu)集成等領域核心技術(shù)的發(fā)展，為實現(xiàn)高端半導體裝備與材料自主化制造奠定了堅實的基礎，在我國半導體領域“卡脖子”關鍵技術(shù)方面取得了原創(chuàng)性突破。
編輯：曉穎
